QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2009    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 硅基集成式微型平面纳米级定位平台控制 期刊论文 仪表技术与传感器, 2009, 期号: S1 王家畴; 李昕欣; 孙立宁 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/01/06 UV-LIGA  电镀  厚胶工艺  射频无源器件  微机械探卡   服务于微电子产业的MEMS新技术 会议论文 第11届全国敏感元件与传感器学术会议, 2009 程融; 蒋珂玮; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2012/01/18 微电子产业 UV-LIGA技术 金属电镀 MEMS器件 微细加工 硅微机械   服务于微电子产业的MEMS新技术 期刊论文 仪表技术与传感器, 2009, 期号: S1 程融; 蒋珂玮; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2012/01/06 微加工工艺技术  CMOS后端集成  滤波器  射频集成电路