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浏览/检索结果: 共8条，第1-8条 帮助 限定条件 发表日期：2009    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 SiSb基相变材料用化学机械抛光液 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN101586005, 申请日期: 2009-11-25, 公开日期: 2009-11-25 王良咏; 宋志棠; 刘波; 封松林 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/01/06 SOI衬底上SiGe HBT材料与器件研究 学位论文 博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2009 陈超 收藏  |  浏览/下载：61/0  |  提交时间：2012/03/06 绝缘层上硅(SOI)  含有硅化物埋层的SOI材料  SiGe HBT  三维电路   水玻璃为原料制备纳米氧化硅磨料及应用于硅片抛光(英文) 会议论文 2009国际粉体技术与应用论坛论文集, 2009-03 胡晓凯; 宋志棠; 汪海波; 刘卫丽; 潘忠才; 秦飞; 张泽芳; 张磊 收藏  |  浏览/下载：61/0  |  提交时间：2012/01/18 硫系化合物相变材料氧化铈化学机械抛光液 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN101372606, 申请日期: 2009-02-25, 公开日期: 2009-02-25 王良咏; 宋志棠; 刘波; 封松林 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/01/06 几种微构件材料的表面能及纳观黏附行为研究 期刊论文 物理学报, 2009, 期号: 04 薛伟; 郑蓓蓉; 张淼; 解国新; 王权 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/01/06 短波近红外  InGaAs  焦平面组件  读出电路   基于锂离子电池组的微小卫星电源控制器设计 期刊论文 计算机测量与控制, 2009, 期号: 01 练敏英; 孙宁; 苏瑞丰; 李祖布 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2012/01/06 MEMS  表面能  纳观黏附  粗糙度   柠檬酸协助的Y_2O_3包覆LiNi_(1/3)Co_(1/3)Mn_(1/3)O_2材料性能研究 期刊论文 华南师范大学学报(自然科学版), 2009, 期号: S1 刘浩涵; 张建; 张熙贵; 谢晓华; 李佳; 夏保佳 收藏  |  浏览/下载：102/0  |  提交时间：2012/01/06 KOH腐蚀  各向异性  表面粗糙度   Smooth Surface Morphology of Hydrogenated Amorphous Silicon Film Prepared by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 期刊论文 PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY, 2009, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 569-575 Yan, X; Feng, F; Zhang, J; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/03/24 A-SI-H  THIN-FILMS  ION-BOMBARDMENT  LOW-TEMPERATURE  SILANE PLASMA  GROWTH  PECVD  DIFFUSION  ROUGHNESS  FREQUENCY