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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2009    内容类型：学位论文    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 集成硅微机械谐振式悬臂梁传感器与快速生化检测 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2009 于海涛 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2012/03/06 微机电系统  　生化传感器  　悬臂梁  　电热驱动  　压阻检测  　快速重复检测  　超枝化敏感膜  　多壁碳纳米管