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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2009    内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于SU8热压键合的TOG(玻璃上钛)工艺 其他 2009-01-01 张轶铭; 舒琼; 赵刚; 田尧; 李文; 陈兢 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2015/11/12 热压键合 MEMS器件 微机电系统 玻璃衬底