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一种SiGe弛豫衬底材料及其制备方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2008-06-25, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11, 2010-10-15
赵雷; 左玉华; 王启明
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一种SiGe弛豫衬底材料及其制备方法 专利
专利号: CN101207093A, 申请日期: 2008-06-25, 公开日期: 2008-06-25
作者:  赵雷;  左玉华;  王启明
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氧化法制备硅基SiGe弛豫衬底的研究 学位论文
2008, 2008
蔡坤煌
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