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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2008     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 大面积10000线/毫米软X射线金属型透射光栅的设计、制作与检测 期刊论文 物理学报, 2008, 期号: 10 朱伟忠; 吴衍青; 郭智; 朱效立; 马杰; 谢常青; 史沛熊; 周洪军; 霍同林; 邰仁忠; 徐洪杰 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/06/06 软X射线金属型透射光栅  严格耦合波方法  衍射效率  软X射线干涉光刻   13.4nm软X射线干涉光刻透射光栅的优化设计 期刊论文 光学学报, 2008, 期号: 07 朱伟忠; 吴衍青; 陈敏; 王纳秀; 邰仁忠; 徐洪杰 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2012/06/06 干涉光刻  软X射线透射光栅  严格耦合波方法  复折射率  衍射效率   基于高级硅刻蚀和硅氧化工艺的软X射线干涉光刻分束光栅的优化设计 期刊论文 核技术, 2008, 期号: 06 朱伟忠; 吴衍青; 史沛熊; 郭智; 邰仁忠; 徐洪杰 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2012/06/06 软X射线透射光栅  衍射效率  高级硅刻蚀  硅氧化工艺  严格耦合波方法  软X射线干涉光刻