| 大面积10000线/毫米软X射线金属型透射光栅的设计、制作与检测 | |
| 朱伟忠 ; 吴衍青 ; 郭智 ; 朱效立 ; 马杰 ; 谢常青 ; 史沛熊 ; 周洪军 ; 霍同林 ; 邰仁忠 ; 徐洪杰 | |
| 刊名 | 物理学报
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| 2008-10-15 | |
| 期号 | 10 |
| 关键词 | 软X射线金属型透射光栅 严格耦合波方法 衍射效率 软X射线干涉光刻 |
| 通讯作者 | 朱伟忠 |
| 中文摘要 | 基于严格的矢量耦合波理论,优化设计了用于13.4 nm软X射线干涉光刻的透射型双光栅掩模版.采用电子束光刻技术,在国内首次成功制作了周期为100 nm的大面积金属型透射光栅.光栅面积为1.5 mm×1.5 mm,Cr浮雕厚度为50 nm,Gap/period为0.6,衬底Si3N4厚度为100 nm.此光栅将用于上海光源软X射线干涉光刻实验站.利用其1级衍射光和2级衍射光将可以经济高效地制作周期为50和25 nm的大面积周期结构.最后,测量了该光栅对波长为13.4 nm同步辐射光的衍射光强度,并且推算得出该光栅的1级和2级衍射效率分别为4.41%和0.49%,与理论设计值比较符合.实验结果与理论模拟结果的对比表明该光栅侧壁陡直,Gap/period的控制也与设计值符合. |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-06-06 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/9153]  |
| 专题 | 上海应用物理研究所_中科院上海应用物理研究所2004-2010年 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱伟忠,吴衍青,郭智,等. 大面积10000线/毫米软X射线金属型透射光栅的设计、制作与检测[J]. 物理学报,2008(10). |
| APA | 朱伟忠.,吴衍青.,郭智.,朱效立.,马杰.,...&徐洪杰.(2008).大面积10000线/毫米软X射线金属型透射光栅的设计、制作与检测.物理学报(10). |
| MLA | 朱伟忠,et al."大面积10000线/毫米软X射线金属型透射光栅的设计、制作与检测".物理学报 .10(2008). |
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