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纳米压印和光学光刻匹配混合的声表面波器件制备方法 专利
专利号: CN200510126232.2, 申请日期: 2008-12-24, 公开日期: 2007-06-13
作者:  谢常青;  刘明;  涂德钰;  陈宝钦;  牛洁斌
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