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科研机构
上海微系统与信息技术... [3]
声学研究所 [1]
内容类型
学位论文 [4]
发表日期
2007 [4]
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发表日期:2007
内容类型:学位论文
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低张力振动膜硅微电容传声器的研究
学位论文
博士, 声学研究所: 中国科学院声学研究所, 2007
张晓辉
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2011/05/07
MEMS
硅微电容传声器
降低张力
基于MEMS技术的光纤声传感器研究
学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2007
许晓昕
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浏览/下载:33/0
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提交时间:2012/03/06
声传感器
光纤传感
MEMS
Pyrex7740深刻蚀
F-P腔
衍射光栅
硅微机械加速度开关技术研究
学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2007
贾孟军
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2012/03/06
MEMS
惯性-静电耦合原理
冲击加速度开关
阈值可调
自锁
免疫磁珠微流控分析系统的构建和应用研究
学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2007
王聿佶
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浏览/下载:36/0
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提交时间:2012/03/06
MEMS
微流体
磁珠
高梯度磁场
单芯片
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