| 题名 | 硅微机械加速度开关技术研究 |
| 作者 | 贾孟军 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2007 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 李昕欣 |
| 关键词 | MEMS 惯性-静电耦合原理 冲击加速度开关 阈值可调 自锁 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 加速度开关是对惯性加速度敏感并在加速度超过某一阈值时，提供开关闭合动作的器件。利用MEMS技术研制的阈值加速度开关具有低功耗、低成本、过载能力高等优点，在惯性控制系统中有着广泛而重要的应用。 针对冲击加速度测量要求，本文提出了一种基于惯性-静电耦合原理设计的阈值可调的冲击加速度开关。其开关阈值通过电压方式进行控制调节。这种工作方式还可以减小工艺容差对开关性能的影响。这种开关还具有自锁功能，在冲击加速度消失后仍能保持开关闭合状态。 本文设计了一种硅悬臂梁型MEMS冲击加速度开关，其中低体电阻的悬臂梁用作开关 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82828]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 贾孟军 . 硅微机械加速度开关技术研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2007. |
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