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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2006    内容类型：学位论文    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于MEMS 技术制作的硅纳米线及其性质研究 学位论文 博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2006 刘文平 收藏  |  浏览/下载：64/0  |  提交时间：2012/03/06 纳米制造技术  硅纳米线  微电子机械系统  表面态   高阻硅基微带线及微波数字移相器研制 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2006 罗源   收藏  |  浏览/下载：62/0  |  提交时间：2012/03/06 高阻硅  微带线  移相器  PHEMT     MOCVD TiN薄膜在先进集成电路制造中应用的研究 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2006 易万兵   收藏  |  浏览/下载：64/0  |  提交时间：2012/03/06 氮化钛  半导体制造  薄膜电阻率  晶体结构  金属有机物化学气相淀积