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一种通过版图设计灵活控制电子束光刻显影时间的方法 专利
专利号: CN1811598, 申请日期: 2005-01-25, 公开日期: 2006-08-02, 2010-11-26
作者:  张建宏;  陈杰智
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2010/11/26


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