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不同沉积参量下ZrO_2薄膜的微结构和激光损伤阈值 期刊论文
光学学报, 2005, 卷号: 25, 期号: 7, 页码: 994, 998
马平; 陈松林; 胡建平; 胡江川; 段立华; 王震; 邵建达; 范正修
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High laser-induced damage threshold HfO2 films prepared by ion-assisted electron beam evaporation 期刊论文
appl. surf. sci., 2005, 卷号: 243, 期号: 1~4, 页码: 232, 237
Zhang DW; Fan SH; Zhao YN; Gao WD; 邵建达; Fan RY; Wang YJ; 范正修
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ZrO2/SiO2多层膜中膜厚组合周期数及基底材料对残余应力的影响 期刊论文
物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 7, 页码: 3312, 3316
邵淑英; 范正修; 邵建达
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