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厦门大学 [2]
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期刊论文 [2]
发表日期
2004 [2]
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发表日期:2004
专题:厦门大学
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镍表面三维微图形的复制加工
期刊论文
http://electrochem.xmu.edu.cn/CN/abstract/abstract8990.shtml, 2004
LIU Zhu-fang
;
Jiang Li-min
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提交时间:2013/11/18
约束刻蚀剂层技术
镍
三维微加工
化学刻蚀
电化学
Confined etchant layer technique (CELT)
Nickel
3D-microfabrication
Chemical etching
Electrochemistry
微机电系统的发展及其应用
期刊论文
2004
林忠华
;
胡国清
;
刘文艳
;
张慧杰
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2011/04/26
微机电系统
基础研究
微加工技术
微型传感器
现状及展望
micro-electro-mechanical system
basic research
micromachining
microsensor
state-of art and prospect
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