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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2003    专题：高能物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 利用紫外光刻技术进行SU8胶的研究 期刊论文 微纳电子技术, 2003, 期号: Z1, 页码: 126-128+141 作者:  伊福廷;  张菊芳;  彭良强;  韩勇 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2015/12/25 MEMS  微结构  SU8  光刻