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金属研究所 [1]
内容类型
会议论文 [1]
发表日期
2003 [1]
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发表日期:2003
内容类型:会议论文
专题:金属研究所
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采用TMAH腐蚀液形成硅杯的研究
会议论文
第八届敏感元件与传感器学术会议, 北京, 2003-09-01
沈桂芬
;
姚朋军
;
丁德宏
;
付世
;
张宏庆
;
范军
;
王振波
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提交时间:2013/08/21
TMAH
粗糙度
腐蚀速率
各向异性腐蚀
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