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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2002    专题：北京大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 An experimental study on high-temperature metallization for micro-hotplate-based integrated gas sensors 期刊论文 sensors and actuators b chemical, 2002 Yan, GZ; Tang, ZN; Chan, PCH; Sin, JKO; Hsing, IM; Wang, YY 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/11 MEMS  metallization  metal electrode  TECHNOLOGY   An integrated gas sensor technology using surface micro-machining 期刊论文 sensors and actuators b chemical, 2002 Chan, PCH; Yan, GZ; Sheng, LY; Sharma, RK; Tang, Z; Sin, JKO; Hsing, IM; Wang, Y 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/11 integrated sensor  gas sensor  surface micro-machine  micro-hotplate  carbon monoxide sensor