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He~+注入Si(100)缺陷退火效应的慢正电子束研究 期刊论文
核技术, 2001, 期号: 04
张天昊; 翁惠民; 范扬眉; 杜江峰; 周先意; 韩荣典; 张苗; 林成鲁
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