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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2001    专题：北京大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 New type X-ray mask fabricated using inductively coupled plasma deepetching 期刊论文 microsystem technologies, 2001 Chen, D; Lei, W; Wang, S; Li, C; Guo, X; Mao, H; Zhang, D; Yi, F 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/12 LITHOGRAPHY   Study on new type LIGA mask fabrication technique 期刊论文 high energy physics and nuclear physics chinese edition, 2001 Chen, D; Zhu, J; Lei, W; Wang, S; Zhang, DC; Yi, FT 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/16 LIGA mask  ICP deepetching  LIGA technique  X-RAY-LITHOGRAPHY  DEEP