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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：1983    专题：河北大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 气压在由SiH_4淀积多晶硅时的作用 期刊论文 河北大学学报(自然科学版), 1983, 期号: 01, 页码: 19-23 作者:  李星文[1];  王英民[2] 收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2019/12/31 淀积  SiH_4  激活能  动力学分析  理论分析  反应室  气相扩散  LPCVD  总压强  表面过程