| 激光退火能量对非晶Si薄膜晶化的影响 | |
| 邓泽超[1]; 马娜[2]; 褚立志[3]; 王英龙[4] | |
| 刊名 | 河北大学学报（自然科学版）
 |
| 2008 | |
| 卷号 | 28期号:6页码:592-595 |
| 关键词 | 激光退火 脉冲激光烧蚀 纳米晶粒 晶化 |
| ISSN号 | 1000-1565 |
| DOI | http://dx.doi.org/10.3969/j.issn.1000-1565.2008.06.009 |
| URL标识 | 查看原文 |
| WOS记录号 | WOS: |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5966147 |
| 专题 | 河北大学 |
| 作者单位 | 1.河北大学,物理科学与技术学院,河北,保定,071002 2.河北大学,图书馆,河北,保定,071002 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邓泽超[1],马娜[2],褚立志[3],等. 激光退火能量对非晶Si薄膜晶化的影响[J]. 河北大学学报（自然科学版）,2008,28(6):592-595. |
| APA | 邓泽超[1],马娜[2],褚立志[3],&王英龙[4].(2008).激光退火能量对非晶Si薄膜晶化的影响.河北大学学报（自然科学版）,28(6),592-595. |
| MLA | 邓泽超[1],et al."激光退火能量对非晶Si薄膜晶化的影响".河北大学学报（自然科学版） 28.6(2008):592-595. |
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