激光退火能量对非晶Si薄膜晶化的影响 | |
邓泽超[1]; 马娜[2]; 褚立志[3]; 王英龙[4] | |
刊名 | 河北大学学报(自然科学版)
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2008 | |
卷号 | 28期号:6页码:592-595 |
关键词 | 激光退火 脉冲激光烧蚀 纳米晶粒 晶化 |
ISSN号 | 1000-1565 |
DOI | http://dx.doi.org/10.3969/j.issn.1000-1565.2008.06.009 |
URL标识 | 查看原文 |
WOS记录号 | WOS: |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5966147 |
专题 | 河北大学 |
作者单位 | 1.河北大学,物理科学与技术学院,河北,保定,071002 2.河北大学,图书馆,河北,保定,071002 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 邓泽超[1],马娜[2],褚立志[3],等. 激光退火能量对非晶Si薄膜晶化的影响[J]. 河北大学学报(自然科学版),2008,28(6):592-595. |
APA | 邓泽超[1],马娜[2],褚立志[3],&王英龙[4].(2008).激光退火能量对非晶Si薄膜晶化的影响.河北大学学报(自然科学版),28(6),592-595. |
MLA | 邓泽超[1],et al."激光退火能量对非晶Si薄膜晶化的影响".河北大学学报(自然科学版) 28.6(2008):592-595. |
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