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	Microstructure and mechanical properties of SiCN hard films deposited by an arc enhanced magnetic sputtering hybrid system
	Ma, Shengli; Xu, Bin; Wu, Guizhi; Wang, Yanfeng; Ma, Fei; Ma, Dayan; Xu, Kewei; Bell, Tom
	2008
关键词	SiCN films Nanocomposites AEMS Friction coefficient Hardness
卷号	202
期号	22-23
DOI	10.1016/j.surfcoat.2008.06.057
页码	5379-5382
会议录	SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY
URL标识	查看原文
ISSN号	0257-8972
WOS记录号	WOS:000260268900040
内容类型	会议论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4866086
专题	西安交通大学
推荐引用方式 GB/T 7714	Ma, Shengli,Xu, Bin,Wu, Guizhi,et al. Microstructure and mechanical properties of SiCN hard films deposited by an arc enhanced magnetic sputtering hybrid system[C]. 见:.

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