Microstructure and mechanical properties of SiCN hard films deposited by an arc enhanced magnetic sputtering hybrid system | |
Ma, Shengli; Xu, Bin; Wu, Guizhi; Wang, Yanfeng; Ma, Fei; Ma, Dayan; Xu, Kewei; Bell, Tom | |
2008 | |
关键词 | SiCN films Nanocomposites AEMS Friction coefficient Hardness |
卷号 | 202 |
期号 | 22-23 |
DOI | 10.1016/j.surfcoat.2008.06.057 |
页码 | 5379-5382 |
会议录 | SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY |
URL标识 | 查看原文 |
ISSN号 | 0257-8972 |
WOS记录号 | WOS:000260268900040 |
内容类型 | 会议论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4866086 |
专题 | 西安交通大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | Ma, Shengli,Xu, Bin,Wu, Guizhi,et al. Microstructure and mechanical properties of SiCN hard films deposited by an arc enhanced magnetic sputtering hybrid system[C]. 见:. |
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