6H-SiC单晶的激光刻蚀及光谱分析(英文) | |
郁万成; 胡小波; 崔潆心; 陈秀芳; 徐现刚 | |
刊名 | 光谱学与光谱分析 |
2016 | |
期号 | 04页码:1255-1260 |
关键词 | 碳化硅 激光刻蚀 拉曼光谱 能量色散谱 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4758773 |
专题 | 山东大学 |
作者单位 | 山东大学晶体材料国家重点实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 郁万成,胡小波,崔潆心,等. 6H-SiC单晶的激光刻蚀及光谱分析(英文)[J]. 光谱学与光谱分析,2016(04):1255-1260. |
APA | 郁万成,胡小波,崔潆心,陈秀芳,&徐现刚.(2016).6H-SiC单晶的激光刻蚀及光谱分析(英文).光谱学与光谱分析(04),1255-1260. |
MLA | 郁万成,et al."6H-SiC单晶的激光刻蚀及光谱分析(英文)".光谱学与光谱分析 .04(2016):1255-1260. |
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