题名 | 高精度AZ厚胶光刻及其在射频同轴传输线制作中应用 |
作者 | 李爰琪 |
答辩日期 | 2018 |
授予单位 | 大连理工大学 |
导师 | 杜立群 |
关键词 | 正性光刻胶 尺寸精度 曝光剂量分布 紫外光刻 射频同轴传输线 |
学位名称 | 硕士 |
WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
URL标识 | 查看原文 |
出处 | 大连理工大学 |
内容类型 | 学位论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3243881 |
专题 | 大连理工大学 |
作者单位 | 大连理工大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李爰琪. 高精度AZ厚胶光刻及其在射频同轴传输线制作中应用[D]. 大连理工大学. 2018. |
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