微波反射光电导衰退技术在InGaAs台面结器件工艺中的应用

	微波反射光电导衰退技术在InGaAs台面结器件工艺中的应用
	吴小利; 张可峰; 唐恒敬; 韩冰; 李雪; 龚海梅
刊名	激光与红外
	2007
卷号	37
公开日期	2011-10-09
内容类型	期刊论文
源URL	[http://202.127.1.142/handle/181331/2318]
专题	上海技术物理研究所_上海技物所
推荐引用方式 GB/T 7714	吴小利,张可峰,唐恒敬,等. 微波反射光电导衰退技术在InGaAs台面结器件工艺中的应用[J]. 激光与红外,2007,37.
APA	吴小利,张可峰,唐恒敬,韩冰,李雪,&龚海梅.(2007).微波反射光电导衰退技术在InGaAs台面结器件工艺中的应用.激光与红外,37.
MLA	吴小利,et al."微波反射光电导衰退技术在InGaAs台面结器件工艺中的应用".激光与红外 37(2007).