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基于水平集方法的离子束刻蚀碲镉汞的轮廓演变模拟
期刊论文
红外与毫米波学报, 2019, 卷号: 38, 期号: 3, 页码: 331-337
作者:
刘向阳
;
徐国庆
;
贾嘉
;
孙艳
;
李向阳
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浏览/下载:262/0
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提交时间:2019/11/13
碲镉汞
离子束
刻蚀轮廓
水平集方法
刻蚀速度减缓
深宽比
“轮廓加工”工艺及其应用研究
学位论文
: 湖南大学, 2017
作者:
陈艺勤
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/26
电子束直写
聚焦离子束刻蚀
高分辨图形化
快速加工
“轮廓加工”工艺
跨尺度结构
双频容性耦合等离子体物理特性的研究
会议论文
第十三届全国等离子体科学技术会议, 中国四川成都, 2007-08-20
作者:
王友年
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/27
等离子体物理
容性耦合
等离子体刻蚀
等离子体密度
能量分布
混合模型
轮廓线
Electron
sheath
不均匀性
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