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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Integrated microcantilevers for high-resolution sensing and probing 期刊论文 MEASUREMENT SCIENCE & TECHNOLOGY, 2012, 卷号: 23, 期号: 2, 页码: 22001 Li, XX; Lee, DW 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2013/04/23 integrated cantilever  micro-sensor  scanning probe microscopy  resonance mode  surface-stress  nano-tip based instrument   Nano-thick resonant cantilevers with a novel specific reaction-induced frequency-increase effect for ultra-sensitive chemical detection 期刊论文 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2010, 卷号: 20, 期号: 5, 页码: 55022-55022 Yang, YL; Xia, XY; Gan, XH; Xu, PC; Yu, HT; Li, XX 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2011/12/17 SURFACE STRESS  SENSORS   A single-sided micromachined piezoresistive SiO2 cantilever sensor for ultra-sensitive detection of gaseous chemicals 期刊论文 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2006, 卷号: 16, 期号: 12, 页码: 2539-2546 Li, P; Li, XX 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2011/12/17 ATOMIC-FORCE MICROSCOPE  MICROCANTILEVER SENSORS  INDUCED DEFLECTIONS  SURFACE STRESS  FABRICATION  PROBE   Silicon dioxide microcantilever with piezoresistive element integrated for portable ultraresoluble gaseous detection 期刊论文 APPLIED PHYSICS LETTERS, 2006, 卷号: 89, 期号: 7, 页码: 74104-74104 Li, P; Li, XX; Zuo, GM; Liu, J; Wang, YL; Liu, M; Jin, DZ 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2011/12/17 ATOMIC-FORCE MICROSCOPY  SURFACE STRESS  EXPLOSIVES   A single-sided micromachined piezoresistive SiO2 cantilever sensor for ultra-sensitive detection of gaseous chemicals 期刊论文 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2006, 卷号: 16, 期号: 12, 页码: 2539-2546 Li, P; Li, XX 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2011/12/17 ATOMIC-FORCE MICROSCOPE  MICROCANTILEVER SENSORS  INDUCED DEFLECTIONS  SURFACE STRESS  FABRICATION  PROBE