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硅表面二氧化硅的氩离子溅射产额的测定 期刊论文
真空科学与技术, 1981, 期号: 04
王迅; 林荣富; 吴则嘉; 钮成法; 罗兴华; 董锡威; 高培德; 章纯思; 张永福; 包伟国
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