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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：电子学研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 热激励硅谐振式压力传感器的研制 期刊论文 仪表技术与传感器, 2004, 期号: 4, 页码: 1-3 高晓童，崔大付，陈德勇，王利，王蕾 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2010/09/02 谐振梁 压力传感器 多孔硅 热激励 牺牲层   一种半岛型结构谐振梁压力传感器 期刊论文 微纳电子技术, 2003, 卷号: 40, 期号: 7, 页码: 464-466 陈德勇，崔大付，高晓童，范兆岩，王利 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2010/09/02 谐振梁 压力传感器 半岛结构 微电子机械系统 有限元模拟分析