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长春光学精密机械与物... [5]
内容类型
期刊论文 [5]
发表日期
1999 [3]
1998 [1]
1997 [1]
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专题:长春光学精密机械与物理研究所
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X射线布拉格-菲涅耳光学元件的实验研究
期刊论文
光学学报, 1999, 期号: 07, 页码: 130-133
王占山
;
马月英
;
吕俊霞
;
高宏刚
;
刘毅楠
;
裴舒
;
曹健林
;
徐向东
;
洪义麟
;
付绍军
收藏
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浏览/下载:35/0
  |  
提交时间:2013/03/11
X射线布拉格-菲涅耳光学元件
多层膜
波带片
离子束刻蚀
软X射线接触式显微术研究
期刊论文
光学精密工程, 1999, 期号: 02, 页码: 27-33
刘毅楠
;
王占山
;
李哲
;
曹健林
;
林宜平
收藏
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浏览/下载:23/0
  |  
提交时间:2013/03/11
软X射线接触式显微术
生物样品
抗蚀膜
显影条件
曝光量
用光学全息方法研制软X射线Bragg-Fresnel光学元件
期刊论文
真空科学与技术, 1999, 期号: 01, 页码: 68-71
王占山
;
马月英
;
吕俊霞
;
高宏刚
;
刘毅楠
;
裴舒
;
曹健林
;
徐向东
;
洪义麟
;
付绍军
收藏
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2013/03/11
软X射线Bragg-Fresnel光学元件
多层膜
波带片
离子束刻蚀
用接触式显微术方法研究软X射线光刻胶特性
期刊论文
微细加工技术, 1998, 期号: 02, 页码: 43-46
王占山
;
刘毅楠
;
曹健林
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2013/03/11
接触式显微术
光刻胶
溶解速率
软 X 射线接触式显微术抗蚀膜显影条件分析
期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 05, 页码: 74-78
刘毅楠
;
王占山
;
李哲
;
曹健林
;
林宜平
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2013/03/11
软X射线接触式显微术
生物样品
抗蚀膜
显影条件
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