×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
CORC
首页
科研机构
检索
知识图谱
申请加入
托管服务
登录
注册
在结果中检索
科研机构
上海微系统与信息技术... [7]
内容类型
期刊论文 [7]
发表日期
2001 [2]
2000 [5]
学科主题
Materials ... [4]
Applied [3]
Multidisci... [2]
Multidisci... [2]
Applied; P... [1]
Chemistry [1]
更多...
×
知识图谱
CORC
开始提交
已提交作品
待认领作品
已认领作品
未提交全文
收藏管理
QQ客服
官方微博
反馈留言
浏览/检索结果:
共7条,第1-7条
帮助
限定条件
内容类型:期刊论文
专题:上海微系统与信息技术研究所
第一署名单位
第一作者单位
通讯作者单位
已选(
0
)
清除
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
作者升序
作者降序
题名升序
题名降序
发表日期升序
发表日期降序
提交时间升序
提交时间降序
Non-Rutherford backscattering studies of SiC/SIMOX structures
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2001, 卷号: 184, 期号: 1-4, 页码: 178-182
Chen,KW
;
Yu,YH
;
Lei,YM
;
Cheng,LL
;
Sundaraval,B
;
Luo,EZ
;
Wong,SP
;
Wilson,IH
;
Chen,LZ
;
Ren,CX
;
Zou,SC
收藏
  |  
浏览/下载:20/0
  |  
提交时间:2012/03/24
H FILMS
Structural and optical properties of SiC films deposited on Si by DG magnetron sputtering
期刊论文
SILICON CARBIDE AND RELATED MATERIALS, ECSCRM2000, 2001, 卷号: 353-356, 期号: 0, 页码: 191-194
Lei,YM
;
Yu,YH
;
Cheng,LL
;
Lin,L
;
Sundaraval,B
;
Luo,EZ
;
Lin,S
;
Ren,CX
;
Cheung,WY
;
Wong,SP
;
Xu,JB
;
Zou,SC
;
Wilson,IH
收藏
  |  
浏览/下载:13/0
  |  
提交时间:2012/03/24
ALLOYS
Investigation and modeling of the infrared optical properties of direct current sputtered SiC films on silicon
期刊论文
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2000, 卷号: 88, 期号: 5, 页码: 3053-3058
Lei,YM
;
Yu,YH
;
Cheng,LL
;
Sundaraval,B
;
Luo,EZ
;
Ren,CX
;
Zou,SC
;
Wong,SP
;
Chen,DH
;
Wilson,IH
收藏
  |  
浏览/下载:55/0
  |  
提交时间:2012/03/24
3C-SIC FILMS
THIN-FILMS
GROWTH
CARBON
PRESSURE
Auger electron spectroscopy study of SiC thin films deposited on silicon
期刊论文
VACUUM, 2000, 卷号: 58, 期号: 4, 页码: 602-608
Lei,YM
;
Yu,YH
;
Cheng,LL
;
Ren,CX
;
Zou,SC
收藏
  |  
浏览/下载:14/0
  |  
提交时间:2012/03/24
GROWTH
AlN thin films prepared by reactive ion beam coating
期刊论文
FUNDAMENTAL MECHANISMS OF LOW-ENERGY-BEAM-MODIFIED SURFACE GROWTH AND PROCESSING, 2000, 卷号: 585, 期号: 0, 页码: 251-256
Cheng,LL
;
Yu,YH
;
Sundaravel,B
;
Luo,EZ
;
Lin,S
;
Lei,YM
;
Ren,CX
;
Cheung,WY
;
Wong,SP
;
Xu,JB
;
Wilson,IH
收藏
  |  
浏览/下载:56/0
  |  
提交时间:2012/03/24
AUGER-ELECTRON SPECTROSCOPY
ALUMINUM NITRIDE
DEPOSITION
GROWTH
Compositional and morphological study of reactive ion beam deposited AlN thin films
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2000, 卷号: 169, 页码: 94-97
Cheng, LL
;
Yu, YH
;
Sundaravel, B
;
Luo, EZ
;
Lin, S
;
Lei, YM
;
Ren, CX
;
Cheung, WY
;
Wong, SP
;
Xu, JB
;
Wilson, IH
收藏
  |  
浏览/下载:13/0
  |  
提交时间:2012/03/24
AUGER-ELECTRON SPECTROSCOPY
ALUMINUM NITRIDE
GROWTH
AIN
IR studies of reactive DC magnetron sputtered SiC films on silicon using effective medium theory
期刊论文
MATERIALS LETTERS, 2000, 卷号: 43, 期号: 4, 页码: 215-219
Lei,YM
;
Yu,YH
;
Cheng,LL
;
Ren,CX
;
Zou,SC
;
Wong,SP
;
Chen,DH
;
Wilson,IH
收藏
  |  
浏览/下载:58/0
  |  
提交时间:2012/03/24
CARBON
GROWTH
©版权所有 ©2017 CSpace - Powered by
CSpace