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直流磁控溅射和高功率脉冲磁控溅射TiSiN涂层的结构与性能比较 期刊论文
表面技术, 2019, 卷号: 48, 期号: 09, 页码: 70-77
作者:  李林儒;  王振玉;  左潇;  刘林林;  黄美东
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