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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2017    专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Optimization of the focus monitor mark in immersion lithography according to illumination type 期刊论文 J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS, 2017 作者:  Zhang LB(张利斌);  Wei YY(韦亚一);  He JF(何建芳);  Su XJ(苏晓菁);  Dong LS(董立松) 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2018/06/08