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上海光学精密机械研究... [3]
内容类型
学位论文 [3]
发表日期
2015 [1]
2014 [1]
2000 [1]
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光刻投影物镜波像差原位干涉检测技术研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:
吴飞斌
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浏览/下载:103/0
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提交时间:2016/11/28
光刻投影物镜
1xnm节点
波像差原位检测
Ronchi剪切干涉仪
相位提取
强场电离诱导产生空气激光光谱学研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:
张海粟
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浏览/下载:108/0
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提交时间:2016/11/28
隧穿电离
分子转动波包
飞秒激光成丝
空气激光。
薄膜光学参数的P偏振测量法及其在光气敏传感器中的应用
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2000
作者:
顾铮先
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2016/11/28
光学参数
P-偏振光
反射光强比
气体传感器
溶胶-凝胶技术
SnO_2薄膜
灵敏度
表面等离子体激元共振(SPR)
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