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科研机构
半导体研究所 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2011 [1]
2009 [1]
1995 [1]
学科主题
光电子学 [1]
半导体材料 [1]
微电子学 [1]
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An Effective Approach for Restraining Galvanic Corrosion of Polycrystalline Silicon by Hydrofluoric-Acid-Based Solutions
期刊论文
journal of microelectromechanical systems, 2011, 卷号: 20, 期号: 2, 页码: 470-475
Liu YF
;
Xie J
;
Zhang ML
;
Yang JL
;
Yang FH
收藏
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浏览/下载:55/1
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提交时间:2011/07/06
Galvanic corrosion
polysilicon
resistivity
titanium (Ti) redox sacrificial layer
POLYSILICON
OXIDATION
NiO removal of Ni/Au Ohmic contact to p-GaN after annealing
期刊论文
半导体学报, 2009, 卷号: 30, 期号: 2, 页码: 101-104
作者:
Yan Tingjing
;
Chen Lianghui
;
Zhang Shuming
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2010/11/23
RESEARCH ON ELECTRICAL-PROPERTIES OF AMPHIPHILIC LIPID-MEMBRANES BY MEANS OF INTERDIGITAL ELECTRODES
期刊论文
materials science & engineering c-biomimetic materials sensors and systems, 1995, 卷号: 2, 期号: 3, 页码: 159-163
SUN AN
;
XU HY
;
CHEN ZK
;
CUI L
;
HAI XL
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2010/11/17
AMPHIPHILIC LIPID MEMBRANES
INTERDIGITAL ELECTRODES
ELECTRICAL PROPERTIES
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