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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 专题：四川大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Microstructure and Thermal Stability of MoC Doped Ru-Based Alloy Films as Seedless Diffusion Barrier 期刊论文 ACTA METALLURGICA SINICA, 2017, 卷号: Vol.53 No.1, 页码: 31-37 作者:  Zou, JX;  Liu, B;  Lin, LW;  Ren, D;  Jiao, GH 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2019/02/28 amorphous RuMoC film  seedless diffusion barrier  thermal stability  Cu metallization   Interface stability and microstructure of ultrathin Mo/MoN diffusion barrier in Cu interconnects 期刊论文 MATERIALS RESEARCH INNOVATIONS, 2013 作者:  Liu, C. H.;  Jin, Y. Z.;  Cui, X. J.;  Yang, R. S.;  Fu, Q. S. 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/02/25 Diffusion barrier  Thermal stability  Microstucture   Interface stability and microstructure of an ultrathin alpha-Ta/graded Ta(N)/TaN multilayer diffusion barrier 期刊论文 Microelectronic Engineering, 2012, 卷号: Vol.98, 页码: 80-84 作者:  Liu, CH;  Liu, W;  Wang, YH;  Wang, Y;  An, Z 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/03/26 Diffusion  barrier  Interface  stability  Phase  structure  XTEM   Preparation and Properties Characterization of Gradient alpha-Ta(N)/TaN Bi-layer Diffusion Barrier 期刊论文 RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING, 2012, 卷号: Vol.41 No.10, 页码: 1855-1858 作者:  Liu, CH;  Luo, H;  Jin, YZ;  Song, ZX;  Chen, SL 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/03/26 diffusion  barrier  resistivity  thermal  stability  microstructure   Design and fabrication of ultrathin and highly thermal-stable α-Ta/graded Ta/TaN multilayer as diffusion barrier for Cu interconnects 期刊论文 Journal of Physics, D. Applied Physics: A Europhysics Journal, 2011, 卷号: Vol.44 No.7, 页码: 075302(1-6) 作者:  Liu, C.H.;  Wang, Y.;  Liu, B.;  An, Z.;  Song, Z.X. 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/02/25 Design and fabrication of ultrathin and highly thermal-stable α-Ta/graded Ta(N)/TaN multilayer as diffusion barrier for Cu interconnects 期刊论文 Journal of Physics D: Applied Physics, 2011 作者:  C H Liu;  Y Wang;  B Liu;  Z An;  Z X Song 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/02/25