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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：声学研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 MEMS射频薄膜体声波谐振器（FBAR）研究 学位论文 博士, 声学研究所: 中国科学院声学研究所, 2009 汤亮 收藏  |  浏览/下载：170/0  |  提交时间：2011/05/07 微机电系统  薄膜体声波谐振器  高次谐波体声波谐振器  氧化锌  氮化铝  滤波器  振荡器  传感器   不同厚度ZnO薄膜取向和应力的研究 期刊论文 压电与声光, 2009, 卷号: 31, 期号: 2, 页码: 234-236 作者:  李俊红;  徐联;  解述 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2021/10/13