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科研机构
上海微系统与信息技术... [5]
内容类型
期刊论文 [5]
发表日期
2005 [1]
2004 [1]
1998 [2]
1997 [1]
学科主题
Coatings &... [2]
Materials ... [2]
Applied [1]
Applied; P... [1]
Atomic [1]
Condensed ... [1]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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Integrated SOI rib waveguide using inductively coupled plasma reactive ion etching
期刊论文
IEEE JOURNAL OF SELECTED TOPICS IN QUANTUM ELECTRONICS, 2005, 卷号: 11, 期号: 1, 页码: 254-259
Wang, YJ
;
Lin, ZL
;
Zhang, CS
;
Gao, F
;
Zhang, F
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2012/03/24
HFO2 THIN-FILMS
OPTICAL-FIBERS
SI
ALIGNMENT
Scattering loss in silicon-on-insulator rib waveguides fabricated by inductively coupled plasma reactive ion etching
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2004, 卷号: 85, 期号: 18, 页码: 3995-3997
Wang, YJ
;
Lin, ZL
;
Cheng, XL
;
Zhang, CS
;
Gao, F
;
Zhang, F
收藏
  |  
浏览/下载:10/0
  |  
提交时间:2012/03/24
OPTICAL-FIBERS
ROUGHNESS
ALIGNMENT
Control of the YSZ biaxial alignment on polycrystalline Ni-Cr substrates by ion beam selective resputtering
期刊论文
THIN SOLID FILMS, 1998, 卷号: 312, 期号: 1-2, 页码: 27-31
Mao,YJ
;
Jiang,BY
;
Ren,CX
;
Zhang,F
;
Liu,XH
;
Zou,SC
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/03/25
THIN-FILM ORIENTATION
BUFFER LAYERS
ASSISTED DEPOSITION
LASER DEPOSITION
ZIRCONIA FILMS
BOMBARDMENT
GROWTH
Low energy ion beam assisted deposition of biaxially aligned yttria stabilized zirconia films on polycrystalline Ni-Cr alloy
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1998, 卷号: 135, 期号: 1-4, 页码: 492-500
Mao,YJ
;
Jiang,BY
;
Ren,CX
;
Liu,XH
;
Zou,SC
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2012/03/25
BUFFER LAYERS
TRANSPORT-PROPERTIES
LASER DEPOSITION
THIN-FILMS
ORIENTATION
BOMBARDMENT
DEPENDENCE
BICRYSTALS
ALIGNMENT
GROWTH
Study on the growth of biaxially aligned yttria-stabilized zirconia films during ion beam assisted deposition
期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS, 1997, 卷号: 15, 期号: 5, 页码: 2687-2692
Mao,YJ
;
Ren,CX
;
Yuan,J
;
Zhang,F
;
Liu,XH
;
Zou,SC
收藏
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2012/03/25
BUFFER LAYERS
ALIGNMENT
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