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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 超深亚微米工艺条件下基于模型的光学邻近效应修正方法的研究 学位论文 博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2009 朱亮 收藏  |  浏览/下载：128/0  |  提交时间：2012/03/06 分辨率增强技术  光学邻近效应修正  可制造性设计  亚分辨率辅助图形  光学和工艺邻近效应修正   偏离标准条件的OPC 模型以及OPC 相关的验证方法 学位论文 博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2006 陆梅君 收藏  |  浏览/下载：56/0  |  提交时间：2012/03/06 光学邻近效应修正  偏离标准条件  制程窗口  光刻规则检查  设计规则   用二氧化碳气敏电极测定水中二氧化碳 期刊论文 化学世界, 1980, 期号: 04 尹杏娟; 张国雄; 毛平天; 汪厚基 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/03/29