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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：电工研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 0.1微米电子束曝光机电子光学系统的计算 学位论文 硕士: 中国科学院电工研究所, 1999 1阎剑龙,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2010/10/18 曝光机  电子光学系统  像差  算法 exposure machine  electron-optics system  aberration  program  algorism