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科研机构
电工研究所 [4]
内容类型
学位论文 [2]
无文献类型 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2010 [1]
2007 [1]
2006 [1]
1990 [1]
学科主题
低温等离子体物理学 [1]
微纳电工技术::电子... [1]
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专题:电工研究所
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重复频率纳秒脉冲介质阻挡放电对聚对苯二甲酸乙二酯表面改性
期刊论文
强激光与粒子束, 2010, 卷号: 22, 期号: 3, 页码: 539
章程
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2010/09/29
电子束曝光建模仿真及其在高精度图形保真研究中的应用
学位论文
博士: 中国科学院电工研究所, 2007
1赵国荣,电工研究所
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浏览/下载:53/0
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提交时间:2010/10/18
电子束曝光
相对论修正
二次电子
线条边缘粗糙度
极紫外光刻 Electron Beam Lithography
Relativity Correction
Secondary Electron
Line Edge Roughness
Extreme Ultraviolet Lithography
纳米聚焦离子束系统液态金属离子源的研制
学位论文
博士: 中国科学院电工研究所, 2006
1马向国,电工研究所
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2010/10/18
聚焦离子束
液态金属离子源
发射尖
模拟电荷法
蒙特卡罗方法
电子束材料表面改性的研究
无文献类型
六室
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2016/08/17
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