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光栅刻线缺陷检验装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-08-08, 公开日期: 2012-08-29
吴宏圣; 曾琪峰; 乔栋; 张吉鹏; 孙强; 甘泽龙
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微型X射线数字成像系统 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 4
郑玉权
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