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Effect of deposition parameters on properties of TiO2 films deposited by reactive magnetron sputtering 期刊论文
2017, 卷号: 43, 页码: 10991-10998
作者:  Wang, Bo[1,2];  Wei, Shicheng[2];  Guo, Lei[2];  Wang, Yujiang[2];  Liang, Yi[2]
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Fabrication of aluminum nitride films by reactive pulse DC magnetron sputtering for vibration energy harvester 期刊论文
2015, 卷号: 645, 页码: 1133-1138
作者:  Shang, Zhengguo[1,2];  Li, Dongling[1,2];  Wang, Shengqiang[1,2]
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Effects of N-2 content and thickness on CrNx coatings on Mg alloy by the planar DC reactive magnetron sputtering 期刊论文
2009, 卷号: 255, 页码: 6515-6524
作者:  Shi, Yongjing[1];  Long, Siyuan[1];  Fang, Liang[2];  Pan, Fusheng[1];  Liao, Huimin[1]
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Effect of nitrogen content on the properties of CrNxOyCz coating prepared by DC reactive magnetron sputtering 期刊论文
2008, 卷号: 254, 页码: 5861-5867
作者:  Shi, Yongjing[1]
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/11/28
Structure and electrical properties of CdIn(2)O(4) thin films prepared by DC reactive magnetron sputtering 期刊论文
2008, 卷号: 254, 页码: 5481-5486
作者:  Yang, F. F.[1,2];  Fang, L.[1,3];  Zhang, S. F.[1];  Sun, J. S.[2];  Xu, Q. T.[2]
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直流反应磁控溅射法制备CdIn2O4薄膜的光电性能研究 Optical and Electrical Properties of Cdln2O4 Thin Films Prepared by DC Reactive Magnetron Sputtering 期刊论文
2007, 卷号: 27, 页码: 460-466
作者:  杨丰帆[1,2];  方亮[2,3];  孙建生[1];  徐勤涛[1];  吴苏友[1]
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衬底温度对磁控溅射氮化铝薄膜组成的影响 Effect of Substrate Temperature on the Composition of AIN Thin Films Prepared by DC Reactive Magnetron Sputtering 期刊论文
2007, 卷号: 21
作者:  张淑芳[1];  方亮[1];  付光宗[1];  董建新[1];  彭丽萍[1]
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Optical and electrical properties of CdIn2O4 thin films prepared by DC reactive magnetron sputtering 期刊论文
2007, 卷号: 27, 页码: 460-466
作者:  Yang, Fengfan[1,2];  Fang, Liang[2,3];  Sun, Jiansheng[1];  Xu, Qintao[1];  Wu, Suyou[1]
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Optical properties of CdIn2O4 thin films prepared by DC reactive magnetron sputtering 期刊论文
2006, 卷号: 297, 页码: 411-418
作者:  Yang, F.F.[1,2];  Fang, L.[1];  Zhang, S.F.[1];  Liao, K.J.[1];  Liu, G.B.[1]
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直流磁控溅射制备ZnO薄膜的结构及电学性质研究 Structural and Electrical Properties of ZnO Thin Film by DC Magnetron Sputtering 期刊论文
2005, 卷号: 25, 页码: 86-89
作者:  李丽[1];  方亮[1];  廖克俊[1];  刘高斌[1];  杨丰帆[1]
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