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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 内容类型：期刊论文    专题：高能物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 x光纳米光刻掩模的离子束制备法 期刊论文 微纳电子技术, 2002, 期号: 1, 页码: 44-45 作者:  韩勇;  彭良强;  巨新;  伊福廷;  张菊芳 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2015/12/25 纳米光刻  纳米线  x光掩模