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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 高性能微型加热器及其在气体传感器中的应用 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012 许磊 收藏  |  浏览/下载：151/0  |  提交时间：2013/04/24 微电子机械系统  微型加热器  气体传感器  催化燃烧  微纳融合   集成电路芯片圆片级测试用MEMS探卡技术研究 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008 汪飞 收藏  |  浏览/下载：50/0  |  提交时间：2012/03/06 微机械电子系统  　芯片测试探卡  　过孔互连  　悬臂梁探针阵列  　接触电阻　   基于绝缘体上的硅材料的刻蚀光栅式分波合波器研究 学位论文 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2004 王文辉   收藏  |  浏览/下载：85/0  |  提交时间：2012/03/06 绝缘体上的硅材料  平面光波导  刻蚀光栅  分波合波器  集成波导拐弯微镜