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科研机构
上海微系统与信息技术... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2008 [1]
2006 [1]
学科主题
Physics, M... [2]
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学科主题:Physics, Multidisciplinary
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Process-induced mechanical stress effects on deep submicron CMOS device
期刊论文
ACTA PHYSICA SINICA, 2008, 卷号: 57, 期号: 7, 页码: 4497-4507
Li, R
;
Wang, QD
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提交时间:2012/03/24
P(+) SILICON FILMS
DEFORMATION POTENTIALS
THERMAL-OXIDATION
INVERSION LAYERS
DOPANT DIFFUSION
THIN-FILMS
STRAIN
BORON
IMPACT
STI
Study on the delamination of tungsten thin films on Sb2Te3
期刊论文
CHINESE PHYSICS, 2006, 卷号: 15, 期号: 8, 页码: 1849-1854
Xu, JQ
;
Liu, B
;
Song, ZT
;
Feng, SL
;
Chen, B
收藏
  |  
浏览/下载:11/0
  |  
提交时间:2012/03/24
PHASE-CHANGE
GE2SB2TE5 FILMS
STRESS
ADHESION
MICROSTRUCTURE
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