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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：Aspect ratio - Diffraction - Finite difference time domain method     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Superlens imaging lithography for high aspect ratio sub-wavelength pattern employing trilayer resist process 期刊论文 Microelectronic Engineering, 2013, 卷号: 110, 页码: 35-39 作者:  Fang, Liang;  Pan, Li;  Wang, Changtao;  Luo, Xiangang 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2016/11/22