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科研机构
半导体研究所 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2011 [1]
学科主题
微电子学 [1]
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Stability of Mechanical Properties for Submicrometer Single-Crystal Silicon Cantilever Under Cyclic Load
期刊论文
journal of microelectromechanical systems, 2011, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 178-183
Zhu YF
;
Zhang FX
;
Yang JL
;
Zheng HY
;
Yang FH
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提交时间:2011/07/06
Cyclic
mechanical property
resonant frequency
stability
submicrometer-thick cantilever
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